非晶态Bi3.15Nd0.85Ti3O12薄膜的低波动阻变特性研究

非晶态Bi3.15Nd0.85Ti3O12薄膜的低波动阻变特性研究

论文摘要

基于化学溶液法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了非晶态Bi3.15Nd0.85Ti3O12薄膜,研究了其表面形貌、介电特性和阻变特性.结果表明:非晶态Bi3.15Nd0.85Ti3O12薄膜无明显晶界存在,其P-E和C-V曲线无滞后特征,其I-V曲线展示了双极性阻变行为.高低阻态的导电机制研究表明该双极性阻变行为由氧缺陷导电细丝断开/连接主导.通过与氧缺陷导电细丝主导的晶态Bi3.15Nd0.85Ti3O12薄膜基阻变行为对比,发现非晶态Bi3.15Nd0.85Ti3O12薄膜阻变的波动性较小,这与其无晶界密切相关.该研究可为开发低波动的阻变器件提供一定指导.

论文目录

  • 0 引言
  • 1 实验
  • 2 结果与讨论
  • 3 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 宋宏甲,薛旦,钟向丽,王金斌

    关键词: 薄膜,非晶态,阻变特性,波动性

    来源: 湘潭大学学报(自然科学版) 2019年03期

    年度: 2019

    分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

    专业: 材料科学,工业通用技术及设备

    单位: 湘潭大学材料科学与工程学院,特种功能薄膜材料国家地方联合工程实验室

    基金: 国家自然科学基金项目(11847106,11875229和51872251),湖南省自然科学基金项目(2018JJ3506),湖南省教育厅一般项目(17C1517)

    分类号: TB383.2

    DOI: 10.13715/j.cnki.nsjxu.2019.03.007

    页码: 55-63

    总页数: 9

    文件大小: 1867K

    下载量: 14

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