论文摘要
微波等离子体无极紫外光源是新一代气体放电光源,在污水处理,固化,医药等各方面都有应用。本文设计了一种双波导缝隙馈波的微波等离子体紫外灯的装置,通过开缝的方式将微波馈入半椭圆腔体来激发紫外灯发光。通过时域有限差分仿真计算验证了该装置具有低互耦和良好的场均匀性。该装置将用于固化实验,其对于以后微波无极紫外灯的设计方法也有一定的指导意义。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 易倩玉,朱铧丞
关键词: 微波等离子体,无极紫外灯,紫外固化
来源: 真空电子技术 2019年06期
年度: 2019
分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑
专业: 电力工业
单位: 四川大学电子信息学院
分类号: TM923.322
DOI: 10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2019.06.17
页码: 102-105
总页数: 4
文件大小: 277K
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