论文摘要
锐钛矿TiO2为一种常见的n型半导体材料,在光催化、电池光阳极电极、生物材料等领域具有应用前景。离子镀方法具有沉积速率快、膜-基结合力好、薄膜结构致密等优点,被广泛应用于各类涂层制备中。在制备过程中,不同Ar/O2比与烧结温度对涂层相结构与结晶程度有很大的影响,利用多弧离子镀膜机进行不同Ar/O2比与烧结温度正交实验。结合X射线衍射（XRD）图谱可知,Ar/O2比可以直接决定涂层的相结构,而烧结温度能决定涂层结晶程度。对Ar/O2比为1∶2,烧结温度为550℃的薄膜进行扫描电镜表征可知涂层为典型的柱状生长模式,表面存在未被氧化的Ti颗粒。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 梁魁,王佳恒,徐国庆,程浩博,王登辉,张克强,彭军
关键词: 锐钛矿,相结构,形貌,正交实验
来源: 现代盐化工 2019年06期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 材料科学
单位: 中国核动力研究设计院,四川大学原子核科学技术研究所辐射物理及技术教育部重点实验室
分类号: TB306
DOI: 10.19465/j.cnki.2095-9710.2019.06.015
页码: 38-42
总页数: 5
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