光学平面绝对检测论文_闻一泽,马骏,黄亚

导读:本文包含了光学平面绝对检测论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:光学,干涉仪,平面,测量,差分,共轭,论文。

光学平面绝对检测论文文献综述

闻一泽,马骏,黄亚^[1]（2018）在《基于共轭差分的光学平面面形绝对检测技术研究》一文中研究指出光学零位干涉测试是一种相对测量方法,已经广泛应用在光学元件的高精度检测中。为了消除包括参考面误差在内的系统误差,进一步提升检测精度,获得待测光学元件的绝对面形,人们已提出了多种绝对检测方法。传统的叁面互检法等绝对检测方法通常需要对待测件进行大幅度的翻转或旋转,给检测过程中带来不可避免的位置匹配误差,影响测量精度。针对传统平面绝对面形检测中待测件大幅度移动造成位置匹配误差的问题,在差分干涉中引入了共轭位置测量的思想,本文提出了基于零位干涉的共轭差分平面绝对检测技术,通过对待测件进行四次亚毫米级的平移运动,由两正交方向的共轭位置上的四次测量结果得到待测面在两个方向上的差分面形,并通过差分波面复原算法解算得到待测面的绝对面形;待测件只需要进行亚毫米级的平移,不需要大幅度的翻转或旋转,从而避免了待测件的大尺度姿态变化造成的位置匹配误差和应力形变误差。相比于差分法,共轭差分法通过共轭位置的测量,消除了初始位置测量结果的影响,双边共轭逼近差分提升了拟合逼近精度。仿真结果显示,应用傅里叶变换法、Zernike多项式拟合法、自适应光学中的Hudgin结构斜率法等叁种差分波面复原算法得到的共轭差分法复原结果比差分法复原结果精度更高。针对一待测平面镜元件,应用共轭差分法完成平面光学元件的绝对检测实验,实验结果表明,其测试结果与叁面互检法的结果一致,两者最大均方根偏差为0.2nm,优于λ/3100(λ=632.8nm)。(本文来源于《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》期刊2018-08-20）

刘欢欢^[2]（2016）在《基于N位旋转测量的光学平面绝对检测技术研究》一文中研究指出对于光学平面面形的高精度检测,目前常用的方法是相对于参考平面的干涉测量,其检测精度受到参考平面面形精度的制约,而绝对检测方法能够将参考平面误差从测量结果中分离出去,从而得到被测元件的绝对面形。本文主要以叁面互检法在平面绝对检测中的应用为研究方向。首先介绍了一些常用叁面互检法的原理并分析了各自算法的优缺点。为了获得全口径、全频段的绝对面形,本文研究了一种基于N位旋转测量的绝对检测方法,在传统叁面互检法的基础上,增加一组N位旋转测量,利用奇偶函数理论获取完整的面形信息。推导了理论公式,并进行了计算机模拟仿真和误差分析,从理论上证明了该方法的有效性；在4D干涉仪上完成了实验测量及数据分析,创新性地设计了两组对比实验,从实践上证明了该方法的可行性及准确性。在实现绝对检测的基础上,本文提出了一种评估干涉仪系统误差对元件中频PSD1影响的新方法,将通过绝对检测方法得到的参考镜实际面形数据运用于干涉仪中,得到待测元件的绝对面形,将该结果与待测元件的相对检测结果进行比较,即可得出系统误差对元件PSD1的影响大小。详细讨论了波面中频误差处理过程,编写了数据处理程序,研究了基于N位旋转测量的绝对检测方法对中频信息的恢复能力,从两个方面仿真模拟了系统误差对元件中频评价的影响,并用实验进行了验证。该研究结果可以为中频误差检测用于涉仪的性能评估提供参考依据。(本文来源于《南京理工大学》期刊2016-01-01）

刘晓梅^[3]（2004）在《光学平面的绝对检测》一文中研究指出研究了光学平面绝对检验的干涉测量方法：叁面互检法和伪剪切法。叁面互检法需要叁个被测平面，两两组合测量。传统的叁面互检法，只能得到两条剖面线上的面形轮廓偏差，本文中采用的两种改进的叁面互检法能得到叁个面整个波面的叁维面形轮廓偏差，它们是Zernike多项式拟合法和奇偶函数法。Zernike多项式拟合法利用Zernike多项式的正交特性对叁个平面进行拟合处理，求出叁个平面的绝对面形。奇偶函数法根据函数的奇偶特性，将平面面形函数分解为：偶奇、奇偶、偶偶和奇奇函数，再分别求出各项，从而得到叁个平面的绝对面形。与叁面互检法不同，伪剪切法只需要两个平面，一个作为参考平面，一个作为被测平面，通过分别在水平方向、垂直方向移动被测平面，得到叁个干涉波面，对叁次测量的波差数据处理得到被测平面的绝对面形分布，同时能求出干涉仪的系统误差。对上述各种方法分别编制了理论模拟和实测程序，并进行了实验，得到了叁个平面的绝对面形。(本文来源于《南京理工大学》期刊2004-06-01）

光学平面绝对检测论文开题报告

（1）论文研究背景及目的

此处内容要求：

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例：

对于光学平面面形的高精度检测,目前常用的方法是相对于参考平面的干涉测量,其检测精度受到参考平面面形精度的制约,而绝对检测方法能够将参考平面误差从测量结果中分离出去,从而得到被测元件的绝对面形。本文主要以叁面互检法在平面绝对检测中的应用为研究方向。首先介绍了一些常用叁面互检法的原理并分析了各自算法的优缺点。为了获得全口径、全频段的绝对面形,本文研究了一种基于N位旋转测量的绝对检测方法,在传统叁面互检法的基础上,增加一组N位旋转测量,利用奇偶函数理论获取完整的面形信息。推导了理论公式,并进行了计算机模拟仿真和误差分析,从理论上证明了该方法的有效性；在4D干涉仪上完成了实验测量及数据分析,创新性地设计了两组对比实验,从实践上证明了该方法的可行性及准确性。在实现绝对检测的基础上,本文提出了一种评估干涉仪系统误差对元件中频PSD1影响的新方法,将通过绝对检测方法得到的参考镜实际面形数据运用于干涉仪中,得到待测元件的绝对面形,将该结果与待测元件的相对检测结果进行比较,即可得出系统误差对元件PSD1的影响大小。详细讨论了波面中频误差处理过程,编写了数据处理程序,研究了基于N位旋转测量的绝对检测方法对中频信息的恢复能力,从两个方面仿真模拟了系统误差对元件中频评价的影响,并用实验进行了验证。该研究结果可以为中频误差检测用于涉仪的性能评估提供参考依据。

（2）本文研究方法

调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。