ITO窗口层光子晶体对GaN基LED性能的调控

ITO窗口层光子晶体对GaN基LED性能的调控

论文摘要

与传统光源相比,基于GaN材料的发光二极管(LED)具有量子效率高、寿命长等优势,在通用照明、显示、医疗等领域中的应用份额稳步提升。然而受制于其材料特性与器件结构,GaN基LED在内量子效率与光提取效率方面仍有较大的提升空间。为解决以上关键问题,利用电子束曝光技术成功在GaN基LED表面的氧化铟锡(ITO)窗口层集成了光子晶体,并对光子晶体对于LED发光波长、电流-电压特性、发光强度等关键参数的调控进行了表征测量,结果表明,器件的法向电致发光强度提升了25%,器件的工作电压也有所降低。

论文目录

  • 0 引言
  • 1 光子晶体加工与表征
  •   1.1 光子晶体加工
  •   1.2 光子晶体表征
  • 2 光电参数测量与分析
  •   2.1 电学参数测量分析
  •   2.2 光学参数测量分析
  • 3 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 郭忠全,赵璇,郭颖

    关键词: 发光二极管,光子晶体,电致发光,光提取效率

    来源: 半导体技术 2019年09期

    年度: 2019

    分类: 信息科技,基础科学,工程科技Ⅰ辑

    专业: 物理学,化学,无线电电子学

    单位: 济南历下控股集团有限公司,山东创宇环保科技有限公司

    分类号: TN312.8;O734

    DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2019.09.005

    页码: 686-690

    总页数: 5

    文件大小: 1331K

    下载量: 106

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