论文摘要
为了实现蓝宝石基底上双截止透可见区的特性（截止带波长为0.3～0.4μm、0.8～1.1μm,通带波长为0.4～0.8μm）,初始结构采用双截止膜系,可截止近紫外和近红外,在蓝宝石基底的一侧实现可见光高透的宽通带滤光片,选用TiO2和SiO2分别作为薄膜高、低折射率材料,来实现双波段截止的目的,薄膜的设计层数为42层,总厚度是3.6μm,采用电子束蒸发物理气相沉积法来实现镀制,并通过分光光度计测试镀制样品的透射率,测试结果显示截止区（0.3～0.385μm和0.824～1.1μm）,平均截止深度分别达到了0.029%和0.127%,通带0.405～0.788μm波段的平均透过率达到97.68%,通带半宽度HFWD为398 nm（402～800 nm）,有效地抑制了"半波孔"现象出现,并具有双波段截止和高通带透过率的特点。在环境测试中:薄膜的稳定性良好,膜层间匹配度适宜。因此,该双波段截止透可见滤光片可用于某些极端的环境条件中。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 齐健,苏宙平,胡立发,朱华新,何一峰
关键词: 光学薄膜,电子束蒸发物理气相沉积,滤光片,半波孔
来源: 激光与红外 2019年12期
年度: 2019
分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑
专业: 仪器仪表工业
单位: 江南大学理学院,江苏省轻工光电工程技术研究中心
基金: 国家自然科学基金项目(No.60908041),上海市全固态激光器与应用技术重点实验室开放课题(No.2012ADL03),江苏省研究生创新项目(No.SJLX16_0492)资助
分类号: TH74
页码: 1472-1477
总页数: 6
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标签：光学薄膜论文; 电子束蒸发物理气相沉积论文; 滤光片论文; 半波孔论文;