论文摘要
原子力显微镜(AFM)有多种成像模式,其中轻敲模式是最为常用的扫描方式。轻敲模式的基本原理是对AFM的悬臂梁施加外部激励,使得其在共振频率处振动,通过与样品表面的周期性接触获取样品表面形貌的高度信息和相位信息。在振动系统中,品质因子Q是影响AFM成像精确的一个重要指数。结合振动力学理论以及实验结果,我们发现实验时如果悬臂梁处于共振状态时不同品质因子Q的相位都处于90°,这时AFM的测量精度会产生较大误差,使得对被测材料的相位信息不敏感,从而影响实验结果。因此在实验时激励频率取在共振峰左偏区域会减少相位信息的误差,并且相位信息的分辨率随左偏的距离先增大后减小。
论文目录
文章来源
类型: 国内会议
作者: 刘运鸿,魏征
关键词: 原子力显微镜,品质因子,相位
来源: 北京力学会第二十五届学术年会 2019-01-06
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅱ辑
专业: 力学,仪器仪表工业
单位: 北京化工大学
分类号: O32;TH742
页码: 500-501
总页数: 2
文件大小: 2522k
下载量: 15
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