纳米压痕条件下单晶锗的尺寸效应

纳米压痕条件下单晶锗的尺寸效应

论文摘要

采用准静态法对单晶锗(111)晶面进行了纳米压痕实验,对单晶锗(111)晶面的位移-载荷曲线及硬度-压深曲线进行了分析。结果表明,在压入深度为471.36nm时,单晶锗(111)晶面的加载曲线上出现突进点,随着压入深度的进一步增加,突进点逐渐增多。该点对应为单晶锗(111)晶面由塑性变形向脆性断裂转变的临界点。单晶锗卸载曲线上出现突退点,突退点对应为单晶锗由弹性变形向塑性变形转变的临界点。单晶锗(111)晶面的硬度和弹性模量均呈现出随压入深度的增加而减小的趋势,表现出明显的尺寸效应。基于Nix-Gao模型对单晶锗(111)晶面的硬度与压深关系进行曲线拟合,得到无尺寸效应时的纳米硬度为8.399GPa,微观特征长度为131.907nm,尺寸效应因子为0.168。

论文目录

  • 1 纳米压痕实验
  • 2 结果与讨论
  •   2.1 载荷位移曲线分析
  •   2.2 单晶锗尺寸效应的研究
  • 3 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 杨晓京,刘宁,余证,刘浩

    关键词: 纳米压痕,尺寸效应,模型,尺寸效应因子

    来源: 有色金属工程 2019年04期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅰ辑

    专业: 无机化工

    单位: 昆明理工大学机电工程学院

    基金: 国家自然科学基金资助项目(51765027)~~

    分类号: TQ134.31

    页码: 8-13

    总页数: 6

    文件大小: 1073K

    下载量: 172

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