李群霞[1]2004年在《高精度静压气体轴承静特性及振动特性的研究》文中指出随着现代工业及高科技的飞速发展，气体润滑技术正日益被人们重视。气体静压润滑轴承由于运转速度高、回转精度高等优点，广泛应用于超精密机床和高精度测量仪器。气体静压主轴在外界激励作用下容易产生振动，当轴颈转速达到系统固有频率时会发生共振，致使轴颈和轴承接触，从而影响设备的安全可靠运行，导致机械设备的失效和工作人员的伤害。 为了提高系统的安全性、可靠性和寿命，本文主要研究工作如下： 本文在综述了国内、外气体静压轴承的发展历史和研究现状的基础上，对气体静压轴颈轴承基本原理进行了概述。采用有限元法对静压气体轴承的静态性能进行了数值计算和仿真，分析了轴承参数对静特性的影响，确定了轴承最佳参数。结果表明基于有限元法的气体静压轴承的数值计算具有精度高，易于满足边界条件，适于几何形状复杂的轴承结构等特点。 考虑气体粘度非常小的情况下，将气体静压轴颈轴承轴系等效为弹簧—质量结构，并建立相应的二自由度无阻尼振动方程。利用坐标变换将运动方程解耦成相互独立的二阶微分方程。在此基础上，分析气体静压主轴在高速旋转过程中的运动特性和振动特性，推导了系统产生共振时的固有频率，并获得了系统的频响曲线和振动特性曲线。 理论分析和计算机仿真结果分析表明，所建立的数学模型和采用的方法正确，为气体静压轴颈轴承的设计和应用提供了可靠的理论依据。
张广辉[2]2010年在《高速动静压混合气体轴承转子系统动力学特性研究》文中研究说明随着动力机械对功率密度要求的日益提高,需要转子工作在更高转速下,而限制转子高速运行的关键是轴承。长期以来广泛使用的滚动轴承由于部件间存在接触,在高速运行时磨损严重而影响寿命;液体轴承的摩擦功耗大,失稳转速较低,因此上述两种轴承在高转速下应用受到较大限制。气体轴承由于润滑介质粘度较低,能够有效地克服滚动轴承和液体轴承的缺点,在高速旋转机械中获得日益广泛的应用;动静压混合气体轴承避免了动压气体轴承低速时的磨损问题,并提高了轴承的承载能力和稳定性,成为气体轴承研究的重点之一。本文以高速动静混合气体轴承为研究对象,研究轴承的静、动态特性;同时结合非线性动力学的理论和方法,通过数值仿真和试验手段,研究高速动静混合气体轴承-转子系统的耦合动力学特性,为高速旋转机械转子-气体轴承系统设计提供有效的方法。针对经典混合气体轴承设计中仅将动压性能参数与静压性能参数分别计算后进行迭加,忽略了动静压之间的相互影响的问题,建立了含小孔节流项的动静混合径向气体轴承可压缩气体润滑雷诺方程,通过牛顿迭代法和有限差分法实现了混合轴承动静压参数耦合求解。同时针对气体轴承承载能力偏低的弱点,提出了薄膜节流器动静混合气体轴承结构,建立了描述薄膜节流器内流动的气体动力学方程,通过流体阻抗法实现了上述方程与径向气体润滑雷诺方程的耦合求解。针对气体润滑雷诺方程中考虑转子涡动的气体轴承刚度阻尼系数求解困难的问题,通过多供气孔静压径向气体轴承的压力分布获得了能够准确描述其特性的平均系数及修正系数,给出了节流孔入、出口压力间的关系;采用传递函数法描述了径向气体轴承间隙内气体的流动,推导了非稳态多供气孔动静混合径向气体轴承非线性气膜力的解析表达式,通过对该气膜力进行Laplace变换获得了上述轴承的动力学特性系数。针对气体轴承-转子系统动力学特性研究中忽略气膜力中压力和位移对时间偏导数项的问题,采用变方向隐式方法计算气体轴承间隙的瞬态流场,并将其与弹性转子运动学方程耦合求解;针对耦合求解中,气体润滑瞬态雷诺方程和转子运动方程不能同步求解的问题,提出了线性预测多场耦合算法,计算了气体轴承-转子系统的非线性动力学特性;研究表明,线性预测多场耦合算法能够消除弱耦合算法引入的滞后误差并提高计算效率。基于线性预测多场耦合求解方法,提出了相应的简谐激振动力学特性系数识别方法,通过考虑激振频率对动力学特性系数的影响获得了耦合转子弹性变形的动力学特性系数。针对旋转冲压发动机转子内部流动对结构几何参数变化较为敏感的特点,对旋转冲压发动机转子涡动时压缩进气道的内部流场进行分析,给出了作用在转子上的非线性激振力模型;通过数值仿真获得了旋转冲压发动机复杂激振力作用下动静混合气体轴承-高速转子系统的非线性动力学特性。在高速气体轴承-旋转冲压转子系统实验台上,进行转子轴承系统动力学特性实验。通过与计算结果进行对比,比较了在实验转速内的低频分量及静平衡位置分布规律,定性验证了耦合求解建模及研究方法的正确性。
杨文勇[3]2008年在《空气静压支承电主轴动态性能流固耦合分析与实验研究》文中认为空气静压电主轴是高速精密数控机床的关键部件之一,其动态特性是影响高速数控机床的加工质量和切削能力的重要因素。因此,电主轴的动特性研究,对于进一步提高高速机床的工作性能是有十分重要的现实意义。当前电主轴的动力学分析中常采用简化法来处理轴承单元的刚度问题,也就是将轴承用假设的弹簧单元来代替,利用有限元法或者传递矩阵法等数值计算法计算主轴的各阶固有频率和振型。该这方法难以解决空气轴承的非线性问题。这种非线性体现在“电机—空气轴承—主轴”耦合系统中的磁场、流体场、固体叁场的动态非线性变化。为了寻求解决在这种耦合环境下空气静压电主轴动态问题相应的理论分析方法,本文以高速高精密空气静压电主轴为研究对象,采用磁流固耦合有限元分析方法,对电主轴的动态特性进行了相关的仿真分析、实验研究,主要包括:1、基于Navier-Stokes(纳维-斯托克斯)运动方程对空气静压轴承的动压效应进行分析,研究主轴在不同转速、不同载荷作用下空气静压轴承气膜动反力及气膜动刚度的非线性变化。其中气膜动反力是通过对气膜压强积分而得,这就减小了传统设计分析中对气膜动反力作弹簧单元处理所带来的误差。2、为了研究在电主轴回转情况下磁转矩的变化情况,本文采用电磁涡流场模型对电机的磁场分布和感应电流密度的分布进行有限元仿真分析。以此为基础分别从电机的磁固耦合和机械特性这两方面分析电机的磁转矩,并利用数值分析软件MATLAB对电机磁转矩机械特性及启动特性进行仿真分析。3、在空气静压轴承的流体动力学分析以及电机磁转矩的磁-固耦合分析基础上,本文研究电主轴动态特性进行磁-流-固耦合有限元分析法,建立相关的耦合动力学方程,为后续的仿真分析提供理论依据。4、以空气静压电主轴磁-流-固耦合动力学方程为基础,对电主轴动态特性进行有限元仿真分析,并采用ANSYS的编程语言APDL开发相应的分析模块。5、为了验证空气静压电主轴动力学磁流固耦合有限元仿真分析的有效性,本文对主轴静刚度测试、模态实验以及主轴空转特性进行实验研究,实验结果与仿真分析结果具有较好的一致性,这表明磁-流-固耦合动态仿真分析法是可行的。
高景洲[4]2014年在《超精密气磁轴承主轴系统静动力学特性及主轴控制研究》文中指出气体轴承和磁悬浮轴承是目前回转精度最高的轴承,在军事、航天、计算机等领域得到了广泛的应用。静压气体轴承具有摩擦极小、无渗漏、无污染等优点,但不易于控制,加工难度高。磁轴承具有无磨损、可控性好等优点。本文首先阐述了气体轴承和磁轴承的发展概况,并详细阐述了两种轴承的分类和特点。由于静压气体轴承和磁轴承各自所表现出来的优点可以相互弥补彼此的不足,静压气体轴承与磁悬浮轴承的联合使用可以提高轴系的回转精度。本文研究了一种超精密气磁轴承主轴系统,并对系统各轴承的形式及参数进行了分析。系统由两个静压气体轴承和两个主动磁轴承作为径向轴承,由一个止推磁轴承作为轴向轴承,这些轴承组成了主轴系统的支撑结构。本文经过对超精密气磁轴承主轴系统结构的研究,推导出系统五自由度动力学模型,分析了主轴高速转动时的陀螺偶合效应。通过雷诺方程的推导,根据所设计的轴承参数,采用有限元分析方法研究了静压气体轴承和磁轴承的静态特性,分析了静压气体轴承在静态条件下,刚度、偏心率、承载力之间的关系。对磁轴承电磁力进行了数学建模和仿真分析。采用转动坐标系和静态网格相结合的方法研究了主轴系统中的静压气体轴承的动态特性,分析了动态阻尼和刚度的变化规律。气磁轴承静态特性和动态特性计算分析结果为改进气磁轴承的结构和提高其性能提供了理论依据。本文应用MATLAB语言对主轴的控制系统进行了仿真分析,设计了主轴的PID控制器,并使用Simulink对PID控制性能进行仿真,仿真结果证明了PID控制主轴系统的可行性与稳定性。
赵自强[5]2010年在《超精密机床气浮主轴静特性的流固耦合分析》文中提出超精密单点金刚石切削技术是实现大口径高精度KDP晶体加工的关键技术,而优异的主轴动、静态特性是实现机床加工精度的核心。超精密机床的主轴一般采用高精度、高刚度的气体静压轴承,如何在设计阶段综合考虑结构和流体的相互作用,准确得到气体静压轴承的静态特性,不仅对主轴系统的设计,而且对整个机床的动力学特性分析和设计都有着重要的意义。本文以KDP晶体超精密加工机床为研究对象,首先根据流体动力学的基本方程,推导气体静压止推轴承静态特性的理论计算公式,并用该公式计算在工作气压下止推轴承的刚度。然后,建立KDP晶体超精密加工机床气体静压轴承的流体分析和结构分析有限元模型,并提出顺序耦合算法来实现静压轴承的流固耦合分析,计算主轴结构在工作状态下的变形以及止推板弹性变形对静压止推轴承刚度的影响。并在此基础上,分析了止推板和主轴之间联接螺钉的个数和直径对主轴结构弹性变形的影响规律,为联接结构的优化提供方向。再次,对不同工作压力下气体静压气浮主轴的变形和刚度特性进行了实验研究,并将理论公式计算结果、有限元计算结果和实验结果进行了对比和误差分析。最后,建立KDP晶体超精密加工机床的整体机械结构的有限元模型,将计算得到的气体静压止推轴承的刚度特性通过弹簧单元添加到整体模型中,对机床整体进行静力学和动力学分析,对结构的强度进行校核,并分析气体静压止推轴承的静态特性对整个机床的动态特性的影响情况。
马武学[6]2013年在《并行多微通道气体静压止推轴承承载特性研究》文中进行了进一步梳理由于气体静压轴承具有运动精度高,经久耐用,对环境没有污染等特点,所以得到了广泛应用。但随着精密、超精密技术的发展,对气体静压轴承的刚度和稳定性有着更高的要求,而气体静压轴承的刚度与稳定性是一对矛盾,目前的技术水平还难以将二者兼顾,那么在保证气体静压轴承稳定的条件下,气膜刚度最大化是研究气体静压轴承的重点和难点。本文首先对国内外气体静压技术发展水平以及轴承采用的节流技术发展状况给予分析,针对刚度低、承载力不足设计了并行多微通道气体静压止推轴承,目的是提高气体静压止推轴承的静态刚度、承载力,以及轴承稳定性,采取了理论分析、仿真计算和实验验证叁位一体的研究方法对并行多微通道气体静压止推轴承稳定性和静动态特性加以研究,为气体静压止推轴承的优化设计以及在大型机床和超精密工作平台的实际应用奠定理论基础。建立了并行多微通道气体静压止推轴承的静态特性及动态特性数学模型。在静态数学模型基础上,推导了气体静压止推轴承的静特性参数,建立了节流系统的气阻数学模型,利用气阻势流等效网络分析法对并行多微通道气体静压止推轴承节流系统气阻进行分析,确定了节流系统气阻以及气膜气阻对气体静压止推轴承静特性产生的影响因素。在动态数学模型基础上,利用小参数摄动理论推导了并行多微通道气体静压止推轴承的动态刚度和动态阻尼表达式,给出了气体静压轴承气膜动刚度、动阻尼的计算方法,对气膜压力系统进行合理的线性化和方程组的简化,分析了并行多微通道气体静压止推轴承动刚度和动阻尼的变化规律和影响因素。利用FLUENT软件对并行多微通道气体静压止推轴承静特性和动特性仿真计算。静特性仿真计算可直观看到气体在并行多微通道气体静压止推轴承的节流通道中流动特点和气膜流场内的压力分布,以及作用在轴承上的压力变化趋势,并绘制了静态特性曲线,得到了气膜入口区域的流场特性和压力回升区域流场特性,当小气膜间隙时的气流速度特性,压力陡降后的压力回升的具体因素；当大气膜间隙时压力陡降后的压力回升具体因素,压力回升过程中是否有激波产生并分析其原因,仿真计算结果表明,高压区使气体静压轴承具有高负载能力,供气压力增加,载荷和气体流速增加。分析影响并行多微通道气体静压止推轴承刚度提高的因素,为开发高压气浮止推轴承奠定理论基础。研究并行多微通道气体静压止推轴承动态特性时,仿真计算了不同供气压力下轴承的干扰频率对气膜系统的动刚度和动阻尼的影响,得到了供气压力和扰动频率对气体轴承动态特性的影响,并对并行多微通道气体静压止推轴承的稳定性进行了分析。设计了并行多微通道气体静压止推轴承实验台,该实验台能够满足S型力传感器、电感测微测头、微型压力传感器和直线位移传感器同时工作,该实验台的加载机构采用了弹簧加载原理,实现了加载的连续性和稳定性,设计了并行多微通道气体静压止推轴承静态性能的实验测量方案,同时根据测量系统的要求编写了测量气膜厚度和刚度的软件,该软件实现了同步采集串口传输的电感传感器测量值和数据采集卡采集的载荷值以及实测点数值与计算的气膜刚度值,使得测量数据可储存,图像实时可视化,实现了这些数据直观的显示并且可以输出打印出来。最后通过实验得到实测值,并将静态实验、理论分析以及仿真计算进行对比分析,表明了研究中所设计的物理模型以及在此基础上所取得的研究成果的可信性。本文研究所取得的成果丰富和发展了气体润滑理论,在实际应用上,为气体静压止推轴承在设计方面拓宽了设计思路,提供了一套较为完善合理有效的方法。
夏欢[7]2009年在《空气静压球面轴承设计技术研究》文中研究说明空气静压轴承具有高精度、无摩擦等独特优点,其中球面轴承能够同时承受径向和轴向负载,具有叁个转动自由度和自动调心等优点。因此采用这种结构可以降低装配难度,以利于提高主轴的回转精度,这使它在精密加工及检测领域得到了一定的应用。为了掌握空气静压球面轴承的数值分析方法、结构设计和制造装配等关键技术,初步具备研制空气静压球面轴承的能力,本文在中国工程物理研究院重点发展基金“高精度空气静压主轴设计制造技术研究”的资助下,对空气静压球面轴承进行了有益的探索。本文以气体润滑理论为基础,从一般形式的Reynolds方程出发,结合球面轴承的结构特点,建立了空气静压球面轴承的稳态数学模型:推导了球面轴承无量纲形式Reynolds方程;提出了以MATLAB PDE工具箱为求解器迭代求解球面轴承Reynolds方程的计算方法;对MATLAB PDE工具箱进行二次开发,编制了计算球面轴承性能的软件系统;根据数值仿真结果研制了一套基于空气静压球面轴承的主轴样机。通过坐标变换将叁维球面气体润滑问题转化为二维矩形平面问题,再将球面轴承的Reynolds方程变换成标准的椭圆型偏微分方程形式,并由此在MATLAB中编制了球面轴承性能计算软件系统。该软件系统采用对剖迭代思想来确定母线边上的压力,通过质量流量相等计算整个平面的压力分布,进而积分得到球面轴承的承载力和刚度。在此基础上分别计算了空气静压球面轴承在不同供气压力、平均气膜间隙、节流孔孔径、节流孔孔数、球面轴承面对z轴的张角下轴承的静态性能。通过数值计算结果可以看出,轴承的承载力和刚度随着供气压力的增加、平均气膜间隙的减小、节流孔孔数的增多而增大,随着节流孔孔径和球面轴承张角的增加先增大后减小,存在极大值。利用数值仿真结果优化了球面轴承的结构参数,采用对置双半球空气静压球面轴承方式设计了一套可调球心距的主轴样机。构建了空气主轴样机系统的测试平台,对轴承在不同供气压力、平均气膜间隙和预偏心下的静态性能进行了实验研究,在供气压力为0.4MPa、平均气膜间隙为15μm、预偏心量为10μm、节流孔孔径为0.2mm、节流孔分布为双排8孔、球面轴承面对z轴的张角为16°的情况下,实验测试得到轴承最大的轴向和径向承载力大于250N、刚度大于40N/μm。实验测得结果的变化规律与数值仿真结果相同,取得了较好的一致性。静态性能的理论分析、数值仿真和实验结果表明,本文所建立的空气静压球面轴承的静态数学模型是正确的,采用的数值计算方法是可信的,设计的主轴样机基本合理,基本掌握了空气静压球面轴承的设计技术。数值仿真和实验结果为改善空气静压球面轴承的性能设计提供了可靠的依据,为球面轴承的设计人员提供了有价值的参考。
王想响[8]2016年在《高频响大载荷六自由度激振台设计及其动态特性分析》文中研究说明随着空间遥感相机分辨率的大幅度提高,其对地面六自由度振动模拟设备提出了严苛要求,实现空间遥感相机的高频振动是提高地面振动模拟设备工作性能的一大难点。本文为需求高频微振动模拟的空间遥感相机设计了六自由度激振台,引入气体静压轴承无摩擦卸荷机构,对无摩擦卸荷机构的静动态特性,以及六自由度激振台的静动态特性进行了的进一步研究。基于高承载能力、高精度、高频振动的设计准则,以Stewart-Gough六自由度并联机构为构型基础,采用柔性铰链作为虎克铰链中枢轴,并引入由气体静压轴承组成的卸荷机构确保柔性铰链处于可靠工作区间,完成了六自由度激振台的整体结构设计。将固有频率作为目标函数,通过响应面法研究激振台构型参数对固有频率的影响规律。分析六自由度并联机构的运动学与动力学特性,通过径向刚度试验分析柔性铰链沿圆周方向径向刚度的变化规律。在完成六自由度并联机构总体结构设计的基础上,综合考虑气体静压轴承的特点与六自由度并联机构特性,完成无摩擦卸荷机构的整体设计。推导NavierStokes方程在圆柱坐标系以及笛卡尔坐标系下的一般表达式,分别建立止推气体静压轴承与径向气体静压轴承的静特性数学模型,对气体静压轴承设计参数进行优选。通过对卸荷机构的无摩擦气缸进行性能试验,探究其承载效率与摩擦力的变化规律。基于卸荷机构的设计建立有限元模型,对激振台不同位姿下的卸荷机构进行结构静力学分析,从静力学角度验证卸荷机构对激振台不同位姿具有良好适应性。建立卸荷机构的动力学模型,对激振台不同位姿下的卸荷机构进行模态特性分析,研究激振台位姿变化对卸荷机构模态特性的影响。对卸荷机构薄弱的关键部件进行高频振动疲劳分析和谐响应分析。分别对未引入卸荷机构和引入卸荷机构的六自由度激振台进行静力学与模态特性分析,研究卸荷机构的引入对六自由度并联机构静力学与模态特性的影响。
潘春阳[9]2017年在《径向与球形静压气体轴承轴系设计及动力学特性分析》文中研究说明随着精密和超精密加工技术成为衡量一个国家机械行业水平高低的标志,针对超精密机床主轴轴系的研究越来越得到专家学者的高度重视。由于气体润滑轴承具有加工精度高、无摩擦、可控性好等优点,在超精密机床主轴系统上的应用越来越多。随着气体润滑技术的不断发展,超精密机床主轴系统采用气体润滑轴承越来越成为今后的发展趋势。由于采用普通的径向气体轴承支撑的主轴系统存在安装困难,不能自动调心等缺点。本文设计一种径向与半球气体轴承联合支撑的主轴系统。目的在于简化安装过程以及通过半球轴承的自动调心功能提高主轴的回转精度。论文重点分析气体轴承以及主轴的静动态特性。通过有限差分法对雷诺方程进行简化,利用Matlab软件计算求得径向气体轴承的静态性能,并利用Fluent仿真验证。从求解结果中选取合适的径向轴承结构参数。通过Gambit对半球轴承进行建模,利用Fluent仿真得到半球气体轴承的承载特性,从仿真结果中选取合适的半球轴承结构参数。通过在雷诺方程中增加微小扰动并采用线性摄动法求得新型稳态雷诺方程。根据方程求得径向以及半球气体轴承的动态特性参数。基于刚体动力学理论建立主轴-转子动力学模型,根据求得的轴承动态特性参数推导主轴不平衡响应公式,求解得到主轴在不同转速区间的振动幅值。对主轴自由振动进行模态分析,求得主轴各阶振动频率并通过计算得出主轴临界转速,在实际工作时要尽量避免与临界转速相近引起共振现象。本文通过理论分析以及仿真验证得到设计主轴轴系满足现有超精密加工机床需要。
龙威[10]2010年在《平面空气静压轴承承载特性研究》文中研究表明随着航天技术、微电子技术和精密加工等学科的发展,对于产品精度的要求越来越高。空气静压轴承以其高精度、低摩擦、无污染的特点广泛应用于航空航天、食品医药以及高精密机床和测量仪器等领域中。特别在航天器地面仿真实验系统中,为了完全模拟太空中无摩擦的失重环境,平面空气静压止推轴承作为主要的支承部件承担着整个气浮台及其相关设备的重量。因而,提高空气静压轴承的承载能力,优化轴承节流器的节流作用,就成了气体静压润滑理论研究和空气轴承设计的重要内容。传统的空气静压止推轴承多采用节流孔供气的方法,这也是研究起步最早、目前理论分析和实验研究较多的一种节流器形式。在已有的研究成果中,国内外学者在设计和选择时多采用经验公式和工程方法,对节流孔的节流类型分为小孔节流方式和环面节流方式两种。随着进口效应和激波假设的提出,在传统的空气静压轴承设计理论中广泛采用的“两块式流动假设”(即:第一部分为供气孔中等熵流动,第二部分为间隙气膜内完全发展的等温层流)已明显不能满足当代研究和应用中对空气静压轴承在精确度和准确性方面的要求。如何准确描述轴承在工作时随着节流孔处结构参数不同轴承节流器表现出来的不同节流类型,在现有条件下从改进节流效果入手,而非单纯依靠提高供气压力或者追求小气膜厚度来提高小孔节流空气静压轴承的承载能力,这不仅从本质上完善和充实了空气轴承设计理论,充分利用了轴承自身所具备的承载力提升空间,也减小了对外界能源的消耗和在追求加工精度方面需要的额外投入。在广泛调研国内外关于小孔节流空气静压止推轴承研究成果的基础上,本文从流体润滑理论出发,根据供气孔处结构参数之间的相互关系和制约条件,全面考虑各流域可能出现的流动状态和可能造成的节流作用,遵循可压缩雷诺方程的推导结果对空气静压止推轴承的工作气膜进行数学建模,将可压缩雷诺气体润滑方程与边界条件联立求解得到轴承气膜中的压力分布,进而求解轴承的承载力并得出相应的结论。在理论分析的基础上,本文以多孔供气小孔节流空气静压止推轴承为例,研究不同节流类型下具体参数对轴承承载能力的影响规律。分别研究轴承在静态承载、发生倾侧以及受到外界干扰作用时,各典型节流类型轴承在承载性能上表现出来的特点,这样以来就可以根据不同的使用需要选择适当的节流类型,并得到各节流类型下相应的优化参数。本文最后通过搭建实验台,将静态实验、倾侧实验和动态实验叁部分的实测值与理论分析和数值计算的结果相比较,证明本文中模型建立和研究结果真实可靠。本文的研究结论使静压润滑理论在空气轴承设计方面得到了丰富和完善,并为实际生产过程中空气静压止推轴承的选择和应用提供了一套完整的选型方法。
参考文献：
[1]. 高精度静压气体轴承静特性及振动特性的研究[D]. 李群霞. 东北林业大学. 2004
[2]. 高速动静压混合气体轴承转子系统动力学特性研究[D]. 张广辉. 哈尔滨工业大学. 2010
[3]. 空气静压支承电主轴动态性能流固耦合分析与实验研究[D]. 杨文勇. 广东工业大学. 2008
[4]. 超精密气磁轴承主轴系统静动力学特性及主轴控制研究[D]. 高景洲. 东北林业大学. 2014
[5]. 超精密机床气浮主轴静特性的流固耦合分析[D]. 赵自强. 哈尔滨工业大学. 2010
[6]. 并行多微通道气体静压止推轴承承载特性研究[D]. 马武学. 东北林业大学. 2013
[7]. 空气静压球面轴承设计技术研究[D]. 夏欢. 中国工程物理研究院. 2009
[8]. 高频响大载荷六自由度激振台设计及其动态特性分析[D]. 王想响. 哈尔滨工业大学. 2016
[9]. 径向与球形静压气体轴承轴系设计及动力学特性分析[D]. 潘春阳. 东北林业大学. 2017
[10]. 平面空气静压轴承承载特性研究[D]. 龙威. 哈尔滨工业大学. 2010
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