论文摘要
本文研究了以微波ECR等离子体源作为等离子体发生器的空间环境模拟装置。试验以氩气为放电气体,通过分析气压、微波功率、磁场等放电条件对微波ECR等离子体源的耦合作用,并结合COMSOL软件进行仿真验证,实现了等离子体电子密度、电子温度等特征参数的大范围可控调节。在等离子体源放电腔的出口处设计了扩散杯和栅网两种引出结构,使用不同类型和尺寸的Langmuir探针分别测量了两种引出结构下真空腔室内等离子体参数的径向变化,得到了引出结构对等离子体均匀性和稳定性的影响。分析比对了不同Langmuir探针的测试结果,得到一组最优等离子体诊断方式。这些工作对等离子体源标准装置研制和校准技术研究具有参考意义。
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文章来源
类型: 国际会议
作者: 邓星亮,张书锋,贾军伟,柴昊
关键词: 放电条件,特征参数,引出结构,探针,校准
来源: 第十四届国际真空科学与工程应用学术会议 2019-08-04
年度: 2019
分类: 基础科学
专业: 物理学,物理学
单位: 北京东方计量测试研究所
分类号: O53;O461.2
DOI: 10.26914/c.cnkihy.2019.004856
页码: 293-294
总页数: 2
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