基于透射式激光空气隙干涉的纳米分辨率精密位移测量

基于透射式激光空气隙干涉的纳米分辨率精密位移测量

论文摘要

基于透射式激光空气隙干涉原理,建立微位移测量系统,实现纳米分辨率的物体微小位移测量。利用外加微小位移并将前后光强度相减的图像处理方法,有效地提高激光干涉图像的信噪比,将掩没于杂散噪声中的干涉条纹提取出来。实验结果表明,该系统的相对位移测量分辨率优于10 nm,绝对位移测量不确定度优于5%。该系统结构紧凑,安装、使用方便,测量分辨率达到nm级,可实现快速、便捷、稳定的测量,适用于临时性的高分辨率精密位移测量需求。

论文目录

  • 1 引 言
  • 2 测量原理及实验装置
  •   2.1 微位移测量原理
  •   2.2 实验装置
  • 3 实验分析与讨论
  •   3.1 实验方法
  •   3.2 绝对测量精度和不确定度分析
  • 4 结 论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 王子轩,冀聪,王晶,杨钢,王肖隆,林强

    关键词: 测量,微位移测量,激光干涉,图像处理,高分辨率,空气隙干涉仪

    来源: 中国激光 2019年09期

    年度: 2019

    分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑,信息科技

    专业: 物理学,材料科学,无线电电子学,计算机软件及计算机应用

    单位: 浙江工业大学理学院光学与光电子研究中心

    基金: 国家自然科学基金(61875175,61727821),国家重点研发计划项目(2017YFC0601602,2016YFF0200206),中国科学院重点实验室开放项目(A109018237)

    分类号: TB383.1;TN249;TP391.41

    页码: 189-193

    总页数: 5

    文件大小: 1155K

    下载量: 159

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