论文摘要
基于透射式激光空气隙干涉原理,建立微位移测量系统,实现纳米分辨率的物体微小位移测量。利用外加微小位移并将前后光强度相减的图像处理方法,有效地提高激光干涉图像的信噪比,将掩没于杂散噪声中的干涉条纹提取出来。实验结果表明,该系统的相对位移测量分辨率优于10 nm,绝对位移测量不确定度优于5%。该系统结构紧凑,安装、使用方便,测量分辨率达到nm级,可实现快速、便捷、稳定的测量,适用于临时性的高分辨率精密位移测量需求。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 王子轩,冀聪,王晶,杨钢,王肖隆,林强
关键词: 测量,微位移测量,激光干涉,图像处理,高分辨率,空气隙干涉仪
来源: 中国激光 2019年09期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑,信息科技
专业: 物理学,材料科学,无线电电子学,计算机软件及计算机应用
单位: 浙江工业大学理学院光学与光电子研究中心
基金: 国家自然科学基金(61875175,61727821),国家重点研发计划项目(2017YFC0601602,2016YFF0200206),中国科学院重点实验室开放项目(A109018237)
分类号: TB383.1;TN249;TP391.41
页码: 189-193
总页数: 5
文件大小: 1155K
下载量: 159
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