基于飞秒激光的覆铜板刻蚀工艺

基于飞秒激光的覆铜板刻蚀工艺

论文摘要

针对传统电路板集成方式的局限性,提出基于飞秒激光的覆铜板线路成形技术。采用飞秒激光对覆铜板进行单因素实验和正交实验,结果表明,在激光功率、频率、扫描速度、扫描次数以及离焦量等因素中,扫描次数对刻蚀深度和表面粗糙度的影响最大,激光频率的影响最小;采用优化后的激光参数进行刻蚀,可以将表面铜层完全除去,得到高质量的刻蚀区域而不伤及底层基材。

论文目录

  • 1 引 言
  • 2 实 验
  •   2.1 实验设备与器材
  •   2.2 实验方案
  • 3 实验分析
  •   3.1 单因素实验结果分析
  •     3.1.1 飞秒激光功率对铜层刻蚀质量的影响
  •     3.1.2 飞秒激光频率对铜层刻蚀质量的影响
  •     3.1.3 飞秒激光扫描速度对铜层刻蚀质量的影响
  •     3.1.4 飞秒激光扫描次数对铜层刻蚀质量的影响
  •     3.1.5 飞秒激光离焦量对铜层刻蚀质量的影响
  •   3.2 正交实验结果分析
  •   3.3 实验验证
  • 4 结 论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 张晓,刘凯,王明娣,倪玉吉,潘煜,刘金聪,倪超,张文杰

    关键词: 激光技术,飞秒激光,覆铜板,刻蚀,电路

    来源: 光学学报 2019年12期

    年度: 2019

    分类: 基础科学,信息科技

    专业: 物理学,无线电电子学

    单位: 苏州大学机电工程学院

    基金: 国家自然科学基金(51675360),苏州市科技计划项目(SYG201805),苏州市相城区科技计划项目《重点产业技术创新专项》(201701)

    分类号: TN249;TN41

    页码: 235-242

    总页数: 8

    文件大小: 3468K

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