论文摘要
根据278 nm激光系统的技术要求,研制了一种倍频分离膜,用于二倍频激光和四倍频激光的分离。实验以牌号为JGS1的石英玻璃作为基底,结合激光损伤热效应机理及材料的本征吸收,选择金属铪和UV-SiO2作为薄膜材料。利用Macleod膜系设计软件分析电场强度分布随膜系周期的变化规律,依据薄膜设计理论和激光损伤场效应机理,完成了倍频分离膜的设计。采用X射线光电子能谱仪、分光光度计和ZYGO干涉仪表征了薄膜的化学成分、光学性能和表面粗糙度。对实验结果进行对比分析,优化薄膜的生长工艺,减小了外因吸收。测试结果表明,当入射角为45°时,278 nm波长处的透过率为98.82%,556 nm波长处的反射率为99.80%,在40°～50°宽入射角范围内,光谱性能均可达到技术指标,激光损伤阈值为12.53 J/cm2,满足使用要求。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 付秀华,陈成,胡章贵,熊仕富,张静,王菲,王晨鑫
关键词: 薄膜,倍频分离膜,热效应,场效应,激光损伤阈值
来源: 中国激光 2019年12期
年度: 2019
分类: 基础科学,信息科技
专业: 物理学,无线电电子学
单位: 长春理工大学光电工程学院,天津理工大学功能晶体研究院,天津理工大学天津市功能晶体材料重点实验室
基金: 国家自然科学基金重大项目(51890865),吉林省重大科技攻关专项(20190302095GX)
分类号: TN248.1
页码: 147-155
总页数: 9
文件大小: 873K
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