论文摘要
为了解决激光干涉仪使用时激光光路准直调整比较费时的问题,在对激光干涉仪位置测量原理和测量误差进行分析的基础上,通过反复比较验证,提出了一种基于镜组准直的快速对光方法。实践表明,该方法简单实用,能够有效指导操作人员高效准确地完成对光,具有较强的指导作用。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 宋嘎,叶佩青
关键词: 激光干涉仪,镜组准直,测量误差,对光
来源: 制造技术与机床 2019年06期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑,信息科技
专业: 金属学及金属工艺,仪器仪表工业,自动化技术
单位: 山东职业学院叶佩青专家工作室,清华大学机械工程系
基金: 山东省高等学校科研发展计划项目(J17KB036),山东省职业教育技艺技能传承创新平台(智能制造技艺技能传承创新平台)资助项目
分类号: TG659;TH744.3
DOI: 10.19287/j.cnki.1005-2402.2019.06.027
页码: 150-153
总页数: 4
文件大小: 527K
下载量: 97
相关论文文献
- [1].谢芳:新型激光干涉仪的研制[J]. 创新时代 2018(09)
- [2].星间激光干涉仪测距技术发展现状与趋势[J]. 空间电子技术 2018(06)
- [3].零差激光干涉仪的大范围位移测量与精度分析[J]. 光电子技术 2016(01)
- [4].激光干涉仪使用中需要注意的问题探讨[J]. 中国计量 2016(08)
- [5].光轨标尺示值误差测量不确定评定[J]. 计量与测试技术 2017(07)
- [6].外差激光干涉仪非线性误差分析及测量[J]. 激光与光电子学进展 2016(05)
- [7].基于移相式激光干涉仪的平晶平面度测量方法分析[J]. 计测技术 2016(S1)
- [8].激光干涉仪在提高数控机床位置精度中的应用[J]. 中国高新技术企业 2015(22)
- [9].激光干涉仪原理与应用研究[J]. 山东工业技术 2018(20)
- [10].激光干涉仪引力波探测器中的光学技术进展[J]. 中国科学:物理学 力学 天文学 2017(01)
- [11].基于激光干涉仪的直线度误差测量[J]. 装备制造技术 2014(05)
- [12].激光干涉仪反射镜三维温度场的快速多极边界元分析[J]. 工程力学 2012(11)
- [13].用于纳米测量的单频偏振激光干涉仪的光路集成方法[J]. 中国激光 2010(10)
- [14].激光干涉仪引力波探测器的基本光学结构[J]. 光学仪器 2015(04)
- [15].高精度电容式位移传感器校准方法的研究[J]. 计量学报 2015(01)
- [16].新型激光比长仪实现激光干涉仪动态高精度校准[J]. 军民两用技术与产品 2017(01)
- [17].激光干涉仪线性测量的光路准直调整方法[J]. 计量与测试技术 2018(10)
- [18].偏振激光干涉仪的非线性误差实时校正方法[J]. 光学学报 2010(09)
- [19].一种应用于激光干涉仪的等比例偏移定量准直装置[J]. 计量学报 2018(06)
- [20].激光干涉仪在非球面光学元件制造中的应用[J]. 光学仪器 2011(06)
- [21].激光干涉仪在机床精度检测中的应用[J]. 装备维修技术 2019(02)
- [22].中图仪器SJ6000激光干涉仪护航高端制造业[J]. 计测技术 2016(01)
- [23].波面激光干涉仪在超精密加工中的应用[J]. 航空精密制造技术 2013(04)
- [24].数字抗震激光干涉仪的研究与设计[J]. 物理实验 2013(09)
- [25].零差激光干涉仪正交相位误差的分析[J]. 光电工程 2012(12)
- [26].激光干涉仪补偿机床定位精度的测量不确定度分析[J]. 福建质量信息 2008(06)
- [27].无导轨激光干涉仪:大尺寸测量领域的奇葩[J]. 光机电信息 2008(08)
- [28].中图仪器新产品——SJ6000激光干涉仪面市[J]. 计测技术 2015(06)
- [29].中图仪器SJ6000激光干涉仪上市[J]. 中国计量 2015(11)
- [30].数控机床位置精度中激光干涉仪的测量方法探析[J]. 中国市场 2011(49)