论文摘要
介绍了一种基于计算全息的非对称多台阶衍射光学元件印模制备方法,研究了相位型计算全息的工作原理和设计方法,建立了相应的光学系统和衍射光波模型,设计了求取相位型印模微结构的算法流程。在理论分析的基础上,以叠心图案为例,利用MATLAB分别仿真了2台阶、4台阶、8台阶、16台阶衍射光学元件的相位信息以及表面微结构形貌,并对比了其再现图像的质量,发现台阶数越多,再现图像的质量越好。获得印模空间高度数据以及表面结构分布后,利用单点金刚石车削技术,采用快刀加工方式,分别加工了元件尺寸为6 mm×6 mm,最小特征尺寸为30 um的2台阶和4台阶印模,并获得了实际加工的台阶轮廓曲线以及表面结构轮廓。最后采用紫外固化纳米压印技术实现了4台阶印模的复制过程,并对复制样品进行了图像再现,结果表明该方法能用于非对称低台阶数衍射光学元件印模的制备。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 武耀霞,张锦,孙国斌,蒋世磊,弥谦,李世杰,杨鹏飞,王玉瑾
关键词: 计算全息,衍射微光学元件,印模微结构,再现图像
来源: 应用光学 2019年03期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅱ辑
专业: 仪器仪表工业
单位: 西安工业大学光电工程学院
基金: 陕西省科技厅重点实验室项目(2013SZS14-P01),陕西省教育厅重点实验室项目(13JS040),西安工业大学校长基金(302021501)
分类号: TH74
页码: 404-410
总页数: 7
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