导读:本文包含了软光刻论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:光刻,导波,光学,分配器,微带,光线,功率。
软光刻论文文献综述
朱水洪,罗文昊,曾文斌,林友辉,刘向阳[1]（2019）在《软光刻法制备具有表面微结构的角蛋白膜》一文中研究指出近年来,使用微纳米制造工艺将蛋白质或多肽进行高精度空间图案化,推动了细胞生物学、组织工程学、药物科学等领域的发展.同时,羊毛角蛋白作为一种储量大的天然生物蛋白质,具有优异的水溶性、良好的生物相容性和可控的降解性,但羊毛角蛋白通常不能自组装形成凝胶网络或其他不溶形式,因此,使用羊毛角蛋白制备如纤维、薄膜、凝胶等的成型结构存在很大困难.本工作通过使用化学修饰的方法,在角蛋白上接枝功能基团,使角蛋白获得光敏感性,探究了共价交联法制备具有表面微结构角蛋白膜的可行性.并用3D激光扫描显微镜、紫外可见近红外光谱仪和傅里叶变换显微红外光谱仪对薄膜结构进行了表征.结果表明,使用软光刻法可以得到表面微结构完整度很高的角蛋白膜.本工作对羊毛角蛋白共价交联法进行了实验探索,实验结果不仅为人们提供了一种软光刻技术制备具有表面微结构的角蛋白膜的方法,而且为羊毛角蛋白制备成型结构提供了新的途径.(本文来源于《化学学报》期刊2019年06期）
李峰,李晓丹[2]（2019）在《一款基于软光刻技术的液态金属天线》一文中研究指出提出一种新型的频率可重构的微带贴片天线,以液态金属合金和高度可拉伸的弹性体分别作为辐射贴片和介质基板。液态金属使用的是由质量比为75%的镓和25%的铟组成的共晶镓铟合金(EGaIn),弹性体为聚二甲基硅氧烷(PDMS),通过实验测量了PDMS在3种配比下的拉伸量,当质量比为10:1时,PDMS的粘性较低,拉伸性较好。采用软光刻技术制备天线的PDMS模型,然后进行表面处理,使其能够更好地封装,最后将EGaIn包裹在PDMS中形成天线。在PDMS的拉伸极限内,通过对微带天线进行轴向拉伸,随着长度的增加,谐振频率逐渐降低,在4～6 GHz范围内实现了频率可重构。(本文来源于《电子技术应用》期刊2019年02期）
高均超,段力,王英,刘民,王凤丹[3]（2016）在《PDMS软模板制备与叶片曲表面软光刻工艺》一文中研究指出介绍和表征了一种制作聚二甲基硅氧烷(PDMS)软模板的工艺方法,并实现了非平面微加工工艺的图形转移。首先采用深硅电感耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺制备了具有图形的硅片硬母版,然后用PDMS对硅片硬母版进行倒模复制,从而得到具有图形的PDMS软模板。对所制备的PDMS软模板和硅片硬母版结构的形貌、结构尺寸进行观测对比,结果显示PDMS软模板成功复制了硅片上的图形。将α-氰基丙烯酸乙酯旋涂到PDMS软模板上,然后将PDMS软模板上的图形转印到航空发动机叶片表面进行二次复制。在叶片表面得到的图形化结果为MEMS传感器的制作打下了坚实的基础。本实验提出的这种用PDMS转印的软光刻工艺可代替传统的光刻工艺,能够普遍适用于曲表面的叁维结构集成制造。(本文来源于《微纳电子技术》期刊2016年05期）
李凤,高益庆,许广涛,崔晓峰,况国文[4]（2014）在《PDMS在使用软光刻技术制作微透镜阵列的转印效果分析》一文中研究指出以微透镜阵列为例,分析了在软光刻技术中使用PDMS复制微结构的有效性。首先介绍了制作光刻胶微透镜阵列,使用软光刻技术通过两次转印制作PDMS凹微透镜阵列和凸SU-8微透镜阵列工艺流程;接着叙述了使用金相显微镜和白光干涉轮廓仪对微透镜阵列样品的表面轮廓进行测量的结果,并对样品不同尺寸、不同材料的微透镜阵列样品的测量值以及这些测量值与设计值之间差异进行了分析。分析结果表明,使用PDMS转印光刻胶上的微结构以及将PDMS薄膜作为模板把微结构转印到SU-8表面均是可行的、有效的。(本文来源于《南昌航空大学学报(自然科学版)》期刊2014年03期）
Jong,Seob,Choi,Kuk,Young,Cho,Jin-Heong,Yim,孟维华[5]（2010）在《喷墨印刷/软光刻技术结合气相聚合法制备聚3,4-乙撑二氧噻吩图像》一文中研究指出采用气相聚合,以咪唑衍生物为辅助料可以成功制备高导电透明的聚3,4-乙撑二氧噻吩(PEDOT)薄膜。带有1～2个烷基官能团的咪唑衍生物的加入可以显着提高PEDOT的电导率。为了研制一种易于实现的PEDOT成像法,本文采用了喷墨印刷或软光刻技术结合气相聚合法,并以带取代基的对甲苯磺酸铁为氧化剂,3,4-乙撑二氧噻吩为聚合单体来制备PEDOT图像。这种新型方法的实现将为制得本征导电高分子材料图像提供一个高效便捷的方法。(本文来源于《中国印刷与包装研究》期刊2010年04期）
杨军,刘琳琳,陈默,郑小林,宫兆涛[6]（2010）在《用于软光刻的恒温实验台的设计》一文中研究指出介绍了一种可用于软光刻操作的恒温实验台的设计与实现。在一个密闭的小型箱体中集成了温度与压力控制、照明及紫外光照、操作手套等组件,可以实现无尘、恒温、压力可控、紫外光照等多种功能。在该恒温实验台中,利用聚二甲基硅氧烷进行微传递模塑实验研究,考察了温度、压力等对聚二甲基硅氧烷成模特性的影响。同时,还利用聚二甲基硅氧烷与聚亚胺脂的两次复制完成了硅微芯片结构向玻璃基底的转移。研究结果表明:这一新的实验研究平台可以实现恒温、无尘操作、一定的真空度以及紫外照射,满足普通实验室进行微传递模塑等软光刻操作的要求。(本文来源于《传感器与微系统》期刊2010年06期）
倪玮[7]（2009）在《基于软光刻的短距离光互连研究》一文中研究指出最近,处理器速度和处理能力的迅速发展,显着提高了模块、线路板、背板和机柜之间的数据传输速率。在先进的高性能计算系统、交互多媒体以及高速交换网络通信系统中,数据传输速率已经超过了3 Gbps。同时,更高数据传输速率的需求,也导致芯片内部和芯片间电互连方案的复杂度和成本日益增加。为了解决上述问题,世界上的主要研究机构都在大力发展光互连作为替代铜线的可行方案。光学互连技术能提供更高的数据带宽,扩展的I/O密度,更低的串扰,并且无电磁交扰现象,布线的重量和尺寸都能得到降低。然而,光电组件、模块、连接器,以及用于短距离通讯(＜1m)传输介质的相对高成本,都阻碍了光互连在先进计算机和通信系统中的应用。作为全光互连的过渡阶段,光电混合印刷电路板的研制,能够在现阶段充分利用已有的集成电子制造技术,又通过光互连在一定程度上提升了系统性能。但是如何将光层高效率低成本地集成到印刷电路板中也一直是研究的难点和重点。本文在分析短距离光互连、尤其是基于高聚物波导的光互连应用于芯片间互连时所面临的问题的基础上,对单层光互连中光导层与光源/光接收器之间的端口耦合结构、平面内布线准则,多层光互连中层间耦合结构以及光互连用无源光器件等进行了系统深入的研究,提出了切实可行的技术方案,并通过软光刻技术实现了高精度低成本的互连线路与无源光器件的实物制作。本文主要在以下几个方面取得创新性成果:(一)应用软光刻法作为短距离光互连的主要技术实现途径,不仅提供简易、低成本、高质量的互连线路制作方案,上述方案及其成品均能很好地兼容于现有电互连系统。基于软光刻成功试制出结构紧凑型高聚物光功率分配器,也为光互连用无源光器件提供了低成本的量产解决方案。更重要的一点是,软光刻结合微刻与抛光可以克服其他光刻胶制模法边墙粗糙的问题,从而极大地降低了因边墙粗糙引起的波导传输损耗,对低误码率短距离光互连是非常有利的;(二)设计并制作了由矩形波导,光束耦合适配段和端面反射器组成的一体化集成型端口耦合结构,用于光互连中光导层与光源/光接收器之间的无源耦合,并被证明该结构具有较高的耦合效率和偏差冗余度;(叁)在实验和理论分析的基础上,研究了单层光互连线路中交叉和分叉节点的特性。对于不同横截面矩形波导结构在交叉布线时呈现串扰与交叉角度的相关性进行了分析,并与实验结果作了比较。对于分叉节点找到了合适的零泄漏分叉角度,并对多模波导在短距离应用上的特性也进行了深入研究,所得结果对将来光集成型印刷电路板,尤其是基于软光刻技术的光互连结构具有高程度的适用性;(四)提出了一种基于S形弯曲波导的层间垂直耦合结构,该结构具有较低的传输损耗,且结构简单。利用软光刻技术的制作流程使得上述耦合互连设计,在连接损耗以及用于高带宽印刷电路板方面,都比传统设计和制作方法具有明显的优势。(本文来源于《浙江大学》期刊2009-04-01）
李书,林巧,倪玮,楼歆晔,吴兴坤[8]（2008）在《基于软光刻的高聚物多模光功率分配器》一文中研究指出设计并制作了一种紧凑型高聚物光功率分配器,该器件长度比传统器件结构缩短近1/3,实现了器件的微型化改进。利用设计仿真工具BeamProp对器件所需参量进行详细的筛选分析,最终确定了器件结构的具体数值。采用极具优势的软光刻技术印制成功高聚物1×8光功率分配器,在实际的测量中所得损耗结果与模拟仿真符合较好。该器件很大程度上迎合了通信器件微型化的发展趋势,且所采用的制作工艺具有加工便捷,成型快速,成本低廉等独特优势,使器件的规模生产成为可能。(本文来源于《光学学报》期刊2008年06期）
刘彦婷,倪玮,吴兴坤[9]（2008）在《基于软光刻的多层光互连垂直耦合结构》一文中研究指出设计并试制了一种新型垂直耦合光互连线路结构,可用于高速计算机内部等垂直堆迭的多层连通光互连的芯片间光信息通讯。其结构简单,且具有较小的连接损耗(可低至0.05dB)。对四种不同的典型波导截面(分别为30μm×30μm,50μm×50μm,100μm×100μm,200μm×200μm),利用蒙特卡罗多光线追迹分析法对跨越1~6层的垂直耦合结构进行了性能分析,发现当该结构的跨越高度与横向跨越距离的比值约为0.128时,可实现较理想的低损耗(低于1dB)光传输。采用软光刻的方法制备了实验多层光互连线路,其性能测试与理论结果基本相符。(本文来源于《光学学报》期刊2008年02期）
倪玮,吴兴坤[10]（2007）在《基于软光刻的片间光学互连线路》一文中研究指出设计并试制了由软光刻法转印,可敷设在印刷电路板上用于芯片间互连的光学互连线路。提出了一种新颖的端口耦合结构,并发现在耦合适配段长度与接收窗口的长度比值为12∶1时耦合效率最佳,且该耦合结构有效降低了对安装精度的要求;分析了该光学互连线路在交叉布线时的基本准则,获得对于不同横截面矩形波导结构在交叉布线时呈现的串扰与交叉角度的相关性,并发现在强束缚下交叉角度大于54°的交叉结构都能达到低串扰(小于-30 dB)。采用软光刻技术制作了上述高聚物波导光学互连线路元件,实验测量结果与设计数据符合较好。与传统的光刻或激光直写技术相比,软光刻转印具有制作简单,易于实现高聚物叁维结构的大批量高精度复制。(本文来源于《光学学报》期刊2007年05期）
软光刻论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
提出一种新型的频率可重构的微带贴片天线,以液态金属合金和高度可拉伸的弹性体分别作为辐射贴片和介质基板。液态金属使用的是由质量比为75%的镓和25%的铟组成的共晶镓铟合金(EGaIn),弹性体为聚二甲基硅氧烷(PDMS),通过实验测量了PDMS在3种配比下的拉伸量,当质量比为10:1时,PDMS的粘性较低,拉伸性较好。采用软光刻技术制备天线的PDMS模型,然后进行表面处理,使其能够更好地封装,最后将EGaIn包裹在PDMS中形成天线。在PDMS的拉伸极限内,通过对微带天线进行轴向拉伸,随着长度的增加,谐振频率逐渐降低,在4～6 GHz范围内实现了频率可重构。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
软光刻论文参考文献
[1].朱水洪,罗文昊,曾文斌,林友辉,刘向阳.软光刻法制备具有表面微结构的角蛋白膜[J].化学学报.2019
[2].李峰,李晓丹.一款基于软光刻技术的液态金属天线[J].电子技术应用.2019
[3].高均超,段力,王英,刘民,王凤丹.PDMS软模板制备与叶片曲表面软光刻工艺[J].微纳电子技术.2016
[4].李凤,高益庆,许广涛,崔晓峰,况国文.PDMS在使用软光刻技术制作微透镜阵列的转印效果分析[J].南昌航空大学学报(自然科学版).2014
[5].Jong,Seob,Choi,Kuk,Young,Cho,Jin-Heong,Yim,孟维华.喷墨印刷/软光刻技术结合气相聚合法制备聚3,4-乙撑二氧噻吩图像[J].中国印刷与包装研究.2010
[6].杨军,刘琳琳,陈默,郑小林,宫兆涛.用于软光刻的恒温实验台的设计[J].传感器与微系统.2010
[7].倪玮.基于软光刻的短距离光互连研究[D].浙江大学.2009
[8].李书,林巧,倪玮,楼歆晔,吴兴坤.基于软光刻的高聚物多模光功率分配器[J].光学学报.2008
[9].刘彦婷,倪玮,吴兴坤.基于软光刻的多层光互连垂直耦合结构[J].光学学报.2008
[10].倪玮,吴兴坤.基于软光刻的片间光学互连线路[J].光学学报.2007
论文知识图
