论文摘要
在生产过程中,化学气相沉积反应器内托负衬底的托盘由马达带动,按设定的转速以托盘中心为轴进行旋转,反应器会在马达和托盘达到某一转速附近时发生剧烈振动,即共振。生产过程中反应器的共振直接影响了衬底上沉积的薄膜质量。文章通过分析和试验,以调整地脚着地力来避开关键工艺转速时产生的共振,以减少产品报废,提高设备寿命。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 陈浩
关键词: 化学气相沉积,托盘,旋转,共振
来源: 江苏科技信息 2019年27期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工,有机化工
单位: 上海交通大学
分类号: TQ052.5
页码: 42-44+70
总页数: 4
文件大小: 1461K
下载量: 17
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