化学气相沉积反应器共振问题研究与改善

化学气相沉积反应器共振问题研究与改善

论文摘要

在生产过程中,化学气相沉积反应器内托负衬底的托盘由马达带动,按设定的转速以托盘中心为轴进行旋转,反应器会在马达和托盘达到某一转速附近时发生剧烈振动,即共振。生产过程中反应器的共振直接影响了衬底上沉积的薄膜质量。文章通过分析和试验,以调整地脚着地力来避开关键工艺转速时产生的共振,以减少产品报废,提高设备寿命。

论文目录

  • 0 引言
  • 1 反应器系统结构简介和工艺主要转速
  •   1.1 反应器系统结构简介
  •   1.2 工艺转速
  • 2 反应器系统共振的形成分析及改善的可行性措施
  •   2.1 反应器系统共振的形成
  •   2.2 共振改善的可行性措施
  • 3不同地脚锁紧力矩下反应器系统振幅测试及结果分析4
  •   3.1 测量过程
  •   3.2 测试结果
  • 4 结语
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 陈浩

    关键词: 化学气相沉积,托盘,旋转,共振

    来源: 江苏科技信息 2019年27期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

    专业: 无机化工,有机化工

    单位: 上海交通大学

    分类号: TQ052.5

    页码: 42-44+70

    总页数: 4

    文件大小: 1461K

    下载量: 17

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