CrN膜层结构对其性能的影响

论文摘要

为制备厚且结合良好的硬质陶瓷膜层,采用真空阴极电弧离子镀技术,在6Cr13Mo钢表面分别沉积不同膜层结构的CrN膜.利用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、划痕仪和磨擦磨损试验仪分析探讨了膜层结构与性能之间的关系.结果表明:单层结构CrN膜沿（111）择优生长;随膜层厚度的增加,颗粒等缺陷增多及晶粒长粗,致密度下降,结合力及磨损率下降;多层结构Cr-CrN膜沿（200）择优生长,随膜层厚度的增加,晶粒细小,致密性高,结合力及磨损率保持稳定;当厚度在20μm左右时,单层结构Cr-CrN膜硬度（Hv）为1899、结合力为13 N、磨损率为17.30×10-6mm3/m·N,而多层结构Cr-CrN膜硬度（Hv）为2000、结合力为100 N、磨损率为4.25×10-6mm3/m·N;多层结构Cr-CrN膜的性能明显优于单层结构CrN膜.

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 林松盛,黄儒明,苏一凡,石倩,韦春贝,代明江

关键词: 膜层结构,电弧离子镀,结合力,磨损率

来源: 材料研究与应用 2019年03期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 金属学及金属工艺

单位: 广东省新材料研究所现代材料表面工程技术国家工程实验室广东省现代表面工程技术重点实验室

基金: 广东省科技计划项目(2017A070702016,2017A070701027,2014B070705007),广东省科学院科技提升项目(2017GDASCX-0202,2017GDASCX-0111)

分类号: TG174.4

页码: 195-201

总页数: 7

文件大小: 2724K

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