电弧离子镀/磁控溅射复合真空退火制备Ti2AlC涂层

电弧离子镀/磁控溅射复合真空退火制备Ti2AlC涂层

论文摘要

采用自主研发的大弧源技术,复合中频磁控溅射石墨靶,避免H元素的引入,在锆合金表面快速沉积了致密、超厚(约20μm)的Ti–Al–C涂层。经过不同温度(550、650、750和850°C)和时间(1、2和3 h)的真空退火后发现,至少在650°C才能获得Ti2AlC结构,更高的温度会加速Ti2AlC的生成。高温沉积对制备Ti2AlC相涂层而言是必备的。

论文目录

  • 1 实验
  • 2 结果与讨论
  •   2.1 表面及截形貌
  •   2.2 相结构
  •   2.3 退火温度和时间对Ti2Al C的影响
  • 3 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 胡小刚,董闯,杨红艳,张瑞谦

    关键词: 碳化铝钛,金属陶瓷,电弧离子镀,磁控溅射,真空退火,温度,微观结构

    来源: 电镀与涂饰 2019年21期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅰ辑

    专业: 金属学及金属工艺

    单位: 三束材料改性教育部重点实验室大连理工大学材料科学与工程学院,反应堆燃料及材料重点实验室中国核动力研究设计院

    分类号: TG174.4

    DOI: 10.19289/j.1004-227x.2019.21.004

    页码: 1160-1165

    总页数: 6

    文件大小: 1401K

    下载量: 126

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