论文摘要
为了在使用高倍物镜测量标准样板时获得高分辨率的样本整体区域信息,提出了一种基于尺度不变特征变换（SIFT）图像拼接算法的标准样板测量技术。首先通过高倍物镜获取局部三维结构,将其转化为二维灰度图像;然后采用SIFT和RANSAC算法得到准确的特征点;最后采用加权平均融合算法得到完整图像,重构整体样板三维结构,并利用ISO5436-1∶2000对标准样板台阶高度进行评价。实验对100和400 nm两种高度的标准样板进行了测量和拼接,并对拼接后的台阶高度进行评价,测量均值分别为100.3和398.9 nm,实验表明该技术能准确还原标准样板中台阶的高度,有效扩大了标准样板形貌重构的范围。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 程纪榕,赵军,蔡潇雨,邵力
关键词: 微纳米测量,图像拼接,标准样板,台阶高度标准,形貌重构
来源: 微纳电子技术 2019年01期
年度: 2019
分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑
专业: 材料科学,计算机软件及计算机应用
单位: 中国计量大学,上海市计量测试技术研究院
基金: 国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(2014YQ090709)
分类号: TB383.1;TP391.41
DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.01.012
页码: 71-77
总页数: 7
文件大小: 1397K
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