光学精密装调技术论文_邹顺

导读:本文包含了光学精密装调技术论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:精密,光学,物镜,光刻,技术,柔性,力学。

光学精密装调技术论文文献综述

邹顺^[1]（2016）在《光学组件下装系统洁净精密装校技术研究》一文中研究指出随着下一阶段激光核聚变装置所需能量的提高,激光光束增加,LRU(Line Replaceable Units)即在线可替换单元模块的种类和数量也随之增加,对下装设备的装校能力提出了新的挑战。满足LRU模块百级洁净度的苛刻要求下,高效地完成其在线安装和更换是同类设备一直没有解决的问题,因此很有必要对LRU模块洁净精密装校技术进行研究,设计出一种高效的下装设备,满足下一阶段LRU模块洁净精密装校的需求。本文针对下装设备总体设计要求,提出了采用水平调平机构先调节底盘水平,然后通过平面叁自由度并联校准机构对LRU模块进行精确校准,最后被动柔顺机构在LRU模块安装过程中对其位恣偏差进行校正和补偿的设计方案。利用叁维设计软件Proe/E完成了下装设备虚拟样机的设计。基于ANSYS,采用APDL命令流方式建立了下装设备的有限元模型,对下装设备装载工况和举升工况进行了整机静力分析;对以上两种工况的下装设备分别进行了模态分析,提取其前六阶固有频率和振型,对下装设备动态特性进行分析。分析结果表明,结构的整体变形和各组成部件的应力和应变均在许用范围之内,下装设备强度、刚度和稳定性良好。对LRU模块精密装校关键技术进行了分析研究,下装设备需具备水平调平、精密校准和柔顺装配的功能。水平调平采用“面追逐式”调平方法,调节底盘水平,确保调平过程的安全与稳定。对叁自由度校准机构进行了运动学分析,基于Matlab得到校准机构在不同位恣下的工作空间和灵巧度。分析校准机构的结构参数的变化对误差的影响,对比得到各参数对误差的影响程度,提出了改进校准机构运动精度的优化方案。分析了柔顺装配叁个阶段,得到各阶段装配力的解析表达式,基于Matlab分析对比各参数对装配力的影响,给LRU模块的装配提供理论依据。基于等效元素集成法对校准机构进行了动力学特性分析,推导了动力学方程的二阶转换矩阵和叁阶转换矩阵,采用有限元组装的方法求得系统的等效质量阵以及等效力阵,进而得到其动力学方程。基于ADAMS对校准机构进行运动学和动力学仿真分析,得到校准机构的动力学响应曲线。(本文来源于《哈尔滨工业大学》期刊2016-06-01）

薛晓光,李国喜,龚京忠,吴宝中^[2]（2011）在《面向装配过程的精密光学系统计算机辅助装调技术》一文中研究指出在光学自动设计模型中引入机械结构和装配工艺约束,建立了面向装配过程的精密光学系统计算机辅助装调数学模型,探讨了该模型的求解方法。以光学设计软件ZEMAX为基础运算模块,独立开发了数据处理模块、失调量解算模块、优化变量选择模块、方案输出模块,形成了一套完整的面向装配过程的计算机辅助装调软件系统。通过集成产品的结构设计模型并进行数据映射,建立了产品的装调工艺模型,通过对装调工艺参数进行灵敏度和相关性分析,并结合机械结构和装配工艺确定辅助装调优化变量。在实际装调过程中,以系统的像差为评价函数,以灵敏度高、相关性好的装调工艺参数为优化变量,利用计算机强大的计算功能,自动寻找最优的辅助装调工艺参数,定量指导技师的装调。利用该软件对某红外探测光学系统进行辅助装调,该光学系统的传递函数由44.9%提高到64.1%,验证了该方法的有效性和可行性。(本文来源于《计算机集成制造系统》期刊2011年10期）

林强^[3]（2003）在《EUVL微缩投影光学系统精密装调技术研究》一文中研究指出在电子信息产业发展过程中，集成电路技术对现代化工业的发展和人们的生活起了极其重要的作用，而光刻技术是集成电路生产技术的核心和关键，倍受世界各国的关注。极紫外投影光刻(Extreme Ultraviolet Lithography简称EUVL)最有可能成为下一世纪生产线宽小于0.1μm集成电路的技术，近年来在激光等离子体光源、极紫外多层膜、光学加工和检测、光学精密装调、低缺陷掩模、光刻胶技术以及高稳定工作台系统控制等关键技术方面得到了飞速发展。作为EUVL关键技术之一，微缩投影光学系统的精密装调直接影响着系统的最终成像质量。针对EUVL投影光学系统对成像质量的高精度要求和精密装调对于系统成像的重要性，本文在共轴照明Schwarzschild结构的EUVL成像系统基础上，进一步设计了离轴照明Schwarzschild结构的EUVL微缩投影光学系统，并模拟了光学系统的成像质量。对计算机辅助计算的精密装调技术进行了详细的理论分析，建立了数学模型，阐明了像差与各个结构参数的相关性，分析影响各种像差的主要因素，制定了装调方案。对Schwarzschild结构的EUVL微缩投影光学系统进行了模拟装调，验证了装调方案的可行性。利用Bruning绝对测量方法对EUVL微缩投影光学系统的两个球面进行了高精度检测，检测的精度比用Zygo干涉仪直接检测有明显的提高。最终对EUVL系统中的Schwarzschild微缩投影光学系统进行装调，验证了系统装调的收敛性，装调后系统的最终波像差为0.0144λ RMS(λ=632.8nm)。(本文来源于《中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）》期刊2003-02-01）

光学精密装调技术论文开题报告

（1）论文研究背景及目的

此处内容要求：

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例：

在光学自动设计模型中引入机械结构和装配工艺约束,建立了面向装配过程的精密光学系统计算机辅助装调数学模型,探讨了该模型的求解方法。以光学设计软件ZEMAX为基础运算模块,独立开发了数据处理模块、失调量解算模块、优化变量选择模块、方案输出模块,形成了一套完整的面向装配过程的计算机辅助装调软件系统。通过集成产品的结构设计模型并进行数据映射,建立了产品的装调工艺模型,通过对装调工艺参数进行灵敏度和相关性分析,并结合机械结构和装配工艺确定辅助装调优化变量。在实际装调过程中,以系统的像差为评价函数,以灵敏度高、相关性好的装调工艺参数为优化变量,利用计算机强大的计算功能,自动寻找最优的辅助装调工艺参数,定量指导技师的装调。利用该软件对某红外探测光学系统进行辅助装调,该光学系统的传递函数由44.9%提高到64.1%,验证了该方法的有效性和可行性。

（2）本文研究方法

调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。